将水中的导电污染物质去除到比电阻值达到18.2 MΩ．cm（25℃）时，就称为「超纯水」。在此必须注意的是，电阻率值只是代表水中电解质的含量，并不能表示不含其它的污染物质。也就是，称为「超纯水」的水，还是可能含有不确定量的有机物、微粒子、微生物等污染物质，或具有不同的TOC值。因此，必须同时使用「电阻率值」与「TOC值」来评估水质。
不论以任何纯化方法来去除污染物质，若无法达到18.2 MΩ．cm的水，都称为「纯水」。例如「离子交换树脂水」、「蒸馏水」、「反渗透水」等，都属于纯水。「蒸馏水」与「反渗透水」这一类的纯水，由于纯化速率较慢，都必须使用贮槽储存后再供使用，因此，被纯化的水，在贮存过程中却可能受到贮存器材的材质、混杂在空气中的污染物与微生物的污染，造成水质的降低。所以，所谓的「纯水」也无法代表一定会有很好的质量，其水质会因为纯化方法与使用环境的不同而有所不同。
表1 TOC之分析方法
图1 紫外线氧化—导电度检测方式的TOC meter
「超纯水」的定义： 一般指经离子交换树脂、活性炭，滤膜法去除水中的主要污染物，而其电阻率值达到18.2MΩ・cm的水。
油漆材料对液体燃料的稳定性测定2020-12-25
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